Создание геттерирующих слоев на кремниевых пластинах методом химического травления наружного слоя кремния и их использование в технологии полупроводниковых ИС [[Микроформа]]: Дис. ... канд. техн. наук: (05.27.01)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Шурдук, Б. К. |
| Опубликовано: | Киев , 1989 |
| Физические характеристики: |
212 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||