Разработка научных принципов и создание материалов на основе силицидов переходных металлов для тонкопленочных элементов микросхем: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук: (01.04.07 ; 05.16.06) / АН УССР, Ин-т проблем материаловедения им. И. Н. Францевича
Zapisane w:
| Format: | |
|---|---|
| 1. autor: | Дворина, Л. А. |
| Wydane: | Киев , 1990 |
| Opis fizyczny: |
48 с.
|
| Język: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Dostępne Zamów | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||