Разработка научных принципов и создание материалов на основе силицидов переходных металлов для тонкопленочных элементов микросхем: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук: (01.04.07 ; 05.16.06) / АН УССР, Ин-т проблем материаловедения им. И. Н. Францевича
Guardado en:
| Formato: | |
|---|---|
| Autor principal: | Дворина, Л. А. |
| Publicado: | Киев , 1990 |
| Descripción Física: |
48 с.
|
| Lenguaje: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Disponible Hacer reserva | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||