Разработка научных принципов и создание материалов на основе силицидов переходных металлов для тонкопленочных элементов микросхем: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук: (01.04.07 ; 05.16.06) / АН УССР, Ин-т проблем материаловедения им. И. Н. Францевича
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Дворина, Л. А. |
| Опубликовано: | Киев , 1990 |
| Физические характеристики: |
48 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||