
Физические основы, методы и средства контроля процессов образования полупроводниковых и диэлектрических структур: Тез. докл. / III межвед. совещ. по метрике полупроводников, г. Саратов, 26-28 окт. 1978 г.
Сохранено в:
格式: | |
---|---|
出版: | Саратов : [Б. и.] , 1978 |
實物描述: |
89 с. ; 20 см
|
語言: | Русский |
主題: |
ОФХ отдела книгохранения
Всего : 1 , доступно: 1 | 可用 預訂 | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|