Физические основы, методы и средства контроля процессов образования полупроводниковых и диэлектрических структур: Тез. докл. / III межвед. совещ. по метрике полупроводников, г. Саратов, 26-28 окт. 1978 г.
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Опубликовано: | Саратов : [Б. и.] , 1978 |
| Физические характеристики: |
89 с. ; 20 см
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||