Физические основы, методы и средства контроля процессов образования полупроводниковых и диэлектрических структур: Тез. докл. / III межвед. совещ. по метрике полупроводников, г. Саратов, 26-28 окт. 1978 г.
Saved in:
| Format: | |
|---|---|
| Published: | Саратов : [Б. и.] , 1978 |
| Physical Description: |
89 с. ; 20 см
|
| Language: | Russian |
| Subjects: |
ОФХ отдела книгохранения
| All : 1 , available: 1 | Available Place a Hold | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||