Физические основы, методы и средства контроля процессов образования полупроводниковых и диэлектрических структур: Тез. докл. / III межвед. совещ. по метрике полупроводников, г. Саратов, 26-28 окт. 1978 г.
Захавана ў:
| Тып дакумента: | |
|---|---|
| Апублікавана: | Саратов : [Б. и.] , 1978 |
| Фізіч. характарыстыкі: |
89 с. ; 20 см
|
| Мова: | Руская |
| Прадмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Усяго : 1 , даступна: 1 | Даступна Замовіць | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||