Использование реакции ¹⁰B(n, α)⁷Li для определения пробега ионов бора, имплантированных в кремний

Сохранено в:
Шифр документа: АЯ252058,
Вид документа: Книги
Опубликовано: [Дубна : ОИЯИ , 1974]
Физические характеристики: 14 с. : черт. ; 21 см
Язык: Русский
Серия: Объедин. ин-т ядерных исследований Р14-8295
Предмет:
00000nam0a22000001ib4500
001 BY-NLB-rr21846110000
005 20071005151601.0
010 # # $d Б. ц. 
021 # # $a RU  $b [75-12848] 
100 # # $a 20071005d1974 y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
200 1 # $a Использование реакции ¹⁰B(n, α)⁷Li для определения пробега ионов бора, имплантированных в кремний 
210 # # $a [Дубна  $c ОИЯИ  $d 1974] 
215 # # $a 14 с.  $c черт.  $d 21 см 
225 2 # $a Объедин. ин-т ядерных исследований  $f Лаб. нейтронной физики  $v Р14-8295 
300 # # $a Список лит.: с. 13-14 (18 назв.). Перед загл. авт.: Я. Боганч, Ш. Деме, И. Дюлаи и др. 
345 # # $9 140 экз. 
610 0 # $a Кремний - Легирование ионное 
610 0 # $a Бор, ионы - Длина пробега в полупроводниках 
675 # # $a 537.311.322:539.16.04 
701 # 1 $a Боганч  $b Я. 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20071005  $g psbo