Исследование профилей распределения ионов низкой энергии, имплантированных в кремнии / Б. Н. Мукашев, К. Ш. Чокин, Ж. А. Кусаинов и др.
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Опубликовано: | Алма-Ата , 1983 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Препринт
ИФВЭ 83-22 |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||