Разработка и исследование лазерно-плазменного источника "мягкого" рентгеновского излучения для литографического оборудования электронной техники: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.02.12)
Guardado en:
| Formato: | |
|---|---|
| Autor principal: | Чумичев, Р. Ф. |
| Publicado: | М. , 1983 |
| Descripción Física: |
23 с.
|
| Lenguaje: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Disponible Hacer reserva | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||