Разработка и исследование лазерно-плазменного источника "мягкого" рентгеновского излучения для литографического оборудования электронной техники: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.02.12)

Guardado en:
Шифр документа: АЯ486424СК,
Formato: Авторефераты диссертаций
Autor principal: Чумичев, Р. Ф.
Publicado: М. , 1983
Descripción Física: 23 с.
Lenguaje: Русский

ОФХ отдела книгохранения

Всего : 1 , доступно: 1 Disponible  Hacer reserva

Информация об экземплярах

Шифр Фонд Место нахождения Статус экземпляра Читальный зал
АЯ486424СК ОФХ отдела книгохранения (039) 11:4:2:65 СВОБОДЕН Рекомендованный ЧитЗал