Оценки возможностей лазер-плазменного источника мягкого рентгеновского излучения для рентгенолитографии / Н. Г. Басов, Ю. А. Быковский, А. В. Виноградов и др.
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Опубликовано: | М. , 1982 |
| Физические характеристики: |
10 с. : черт.
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Препринт
№ 29 |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||