Исследование захвата примесей эпитаксиальными слоями кремния в процессе роста и некоторые свойства твердых растворов эпислой-примесь: (01.04.07): Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. физ.-мат. наук / АН УзССР. Объедин. учен. совет по физике Отд-ния физ.-мат. наук
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Маманов, О. А. |
| Опубликовано: | Ташкент , 1973 |
| Физические характеристики: |
24 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||