Исследование захвата примесей эпитаксиальными слоями кремния в процессе роста и некоторые свойства твердых растворов эпислой-примесь: (01.04.07): Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. физ.-мат. наук / АН УзССР. Объедин. учен. совет по физике Отд-ния физ.-мат. наук
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Маманов, О. А. |
| Опубликовано: | Ташкент , 1973 |
| Физические характеристики: |
24 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr15086520000 | ||
| 005 | 20070329170205.0 | ||
| 021 | # | # | $a RU $b [73-26754а] |
| 100 | # | # | $a 20070329d1973 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a UZ |
| 200 | 1 | # | $a Исследование захвата примесей эпитаксиальными слоями кремния в процессе роста и некоторые свойства твердых растворов эпислой-примесь $e (01.04.07) $e Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. физ.-мат. наук $f АН УзССР. Объедин. учен. совет по физике Отд-ния физ.-мат. наук |
| 210 | # | # | $a Ташкент $d 1973 |
| 215 | # | # | $a 24 с. |
| 300 | # | # | $a Список лит.: с. 23-24 (10 назв.) |
| 686 | # | # | $a 01.04.07 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Маманов $b О. А. $g Очил Адизович |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070329 $g psbo |