Физико-химические основы плазмохимической технологии синтеза пленок карбонитрида кремния из силильных производных несимметричного диметилгидразина: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 02.00.04 / Борисов Виктор Одиссеевич
Saved in:
| Format: | |
|---|---|
| Main Author: | Борисов, В. О. |
| Published: | Красноярск , 2005 |
| Physical Description: |
19 с.
|
| Language: | Russian |
| Subjects: |
ОФХ отдела книгохранения
| All : 1 , available: 1 | Available Place a Hold | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||