Физико-химические основы плазмохимической технологии синтеза пленок карбонитрида кремния из силильных производных несимметричного диметилгидразина: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 02.00.04 / Борисов Виктор Одиссеевич
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Борисов, В. О. |
| Опубликовано: | Красноярск , 2005 |
| Физические характеристики: |
19 с.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||