Исследование тепло- и массопереноса при автоэпитаксиальном наращивании монокристаллических пленок кремния в вертикальном реакторе кольцевого типа: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.14.05 Теоретические основы теплотехники / Любарский Анатолий Иосифович
Saved in:
| Format: | |
|---|---|
| Main Author: | Любарский, А. И. |
| Published: | Минск , 1972 |
| Physical Description: |
26 с. : ил.
|
| Language: | Russian |
| Subjects: | |
| E-document: |
E-document
|
ОФХ отдела книгохранения
| All : 1 , available: 1 | Available Place a Hold | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||