Математические и аппаратно-программные средства диагностики стеклопластин для высокоточных фотошаблонов и подложек интегральных схем на основе распределения поверхностного потенциала: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.27.06 / Табулин Александр Иосифович
Gespeichert in:
| Format: | |
|---|---|
| 1. Verfasser: | Табулин, А. И. |
| Veröffentlicht: | Минск , 1991 |
| Beschreibung: |
; 20 см.
|
| Sprache: | Русский |
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: |
E-документ
|
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 2 , доступно: 2 | Verfügbar Bestellen | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||