Математические и аппаратно-программные средства диагностики стеклопластин для высокоточных фотошаблонов и подложек интегральных схем на основе распределения поверхностного потенциала: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.27.06 / Табулин Александр Иосифович
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Табулин, А. И. |
| Опубликовано: | Минск , 1991 |
| Физические характеристики: |
; 20 см.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: | |
| Е-документ: |
E-документ
|
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 2 , доступно: 2 | Доступно Заказать | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||