Локальное ионное легирование в производстве интегральных схем с использованием полимерных масок: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 01.04.07; 05.27.01 / Гранько Сергей Владимирович
Gespeichert in:
| Format: | |
|---|---|
| 1. Verfasser: | Гранько, С. В. (род. 1973) |
| Veröffentlicht: | Мн. , 2004 |
| Beschreibung: |
23 с.
|
| Sprache: | Русский |
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: |
E-документ
|
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 2 , доступно: 2 | Verfügbar Bestellen | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||