Локальное ионное легирование в производстве интегральных схем с использованием полимерных масок: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 01.04.07; 05.27.01 / Гранько Сергей Владимирович
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Гранько, С. В. (род. 1973) |
| Опубликовано: | Мн. , 2004 |
| Физические характеристики: |
23 с.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: | |
| Е-документ: |
E-документ
|
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 2 , доступно: 2 | Доступно Заказать | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||