Интегрированные ионно-плазменные процессы формирования тонкопленочных структур на рельефных поверхностях: Дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.27.06: Защищена 25.06.02: Утв. 23.04.03 / Завадский Сергей Михайлович
Сохранено в:
格式: | |
---|---|
主要作者: | Завадский, С. М. |
出版: | Мн. , 2002 |
語言: | Русский |
主題: | |
在線閱讀: |
E-документ
|
ОФХ диссертаций
Всего : 1 , доступно: 1 | 可用 預訂 | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|