Физико-химические методы стимулирования технологических процессов микроэлектроники: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук: специальность 05.12.18 Твердотельная электроника и интегральная схемотехника, включая материалы, технологию и специальное оборудование / Колешко Владимир Михайлович
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Колешко, В. М. (род. 1942) |
| Опубликовано: | Минск , 1980 |
| Физические характеристики: |
50 с. : табл.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: | |
| Е-документ: |
E-документ
|
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 2 , доступно: 2 | Доступно Заказать | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||