|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br227547 |
| 005 |
20200930085233.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 19981005d1980 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a BY
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Физико-химические методы стимулирования технологических процессов микроэлектроники
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук
$e специальность 05.12.18 Твердотельная электроника и интегральная схемотехника, включая материалы, технологию и специальное оборудование
$f Колешко Владимир Михайлович
$g Академия наук Белорусской ССР, Институт электроники АН БССР
|
| 210 |
# |
# |
$a Минск
$d 1980
|
| 215 |
# |
# |
$a 50 с.
$c табл.
|
| 311 |
# |
# |
$a В фонде НББ имеется автореферат диссертации на соискание аналогичной ученой степени (Минск, 1978)
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 46―50
|
| 333 |
# |
# |
$a Для служебного пользования
|
| 488 |
# |
0 |
$1 001BY-NLB-br461054
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18370
$a МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar11906
$a ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33874
$a ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar79169
$a ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИЕ МЕТОДЫ
$2 DVNLB
|
| 615 |
# |
# |
$a Белорусский национальный документ
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.77(043.3)
$v 4
$z rus
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.33.31
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.12.18
$2 nsnrsssr
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-224689
$a Колешко
$b В. М.
$g Владимир Михайлович
$c доктор технических наук
$f род. 1942
|
| 712 |
0 |
2 |
$3 BY-NLB-ar2460032
$a Институт электроники
$c Минск
$4 995
$4 595
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 19981005
$g psbo
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060315
$g psbo
|
| 856 |
4 |
# |
$u http://content.nlb.by/content/dav/nlb/DDC/AD/ba170801.pdf
|
