Исследование и разработка методов контроля электрофизических параметров многослойных структур на различных этапах производства интегральных схем: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.12.11 Полупроводниковые и микроэлектронные приборы и технология их производства / Буйко Лев Дмитриевич
Zapisane w:
| Format: | |
|---|---|
| 1. autor: | Буйко, Л. Д. |
| Wydane: | Минск , 1977 |
| Opis fizyczny: |
20 с., включая обложку
|
| Język: | Русский |
| Hasła przedmiotowe: | |
| Dostęp online: |
E-документ
|
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 2 , доступно: 1 | Dostępne Zamów | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||