Принципы автоматизации измерительного процесса в применении к измерению толщины эпитаксиального слоя в промышленности: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.11.13 Приборы и методы контроля веществ, материалов и изделий / Григорьев Владимир Калистратович

Сохранено в:
Шифр документа: Ба206704, 27202/86, БА207280,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Григорьев, В. К.
Опубликовано: Минск , 1986
Физические характеристики: 18 с. : ил., табл.
Язык: Русский
Предмет:
Е-документ: E-документ
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br193230
005 20211130164802.0
100 # # $a 19930101d1986 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a BY 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Принципы автоматизации измерительного процесса в применении к измерению толщины эпитаксиального слоя в промышленности  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук  $e специальность 05.11.13 Приборы и методы контроля веществ, материалов и изделий  $f Григорьев Владимир Калистратович  $g Академия наук Белорусской ССР, Институт прикладной физики 
210 # # $a Минск  $d 1986 
215 # # $a 18 с.  $c ил., табл. 
320 # # $a Библиография: с. 17―18 (11 назв.) 
606 0 # $3 BY-NLB-ar39620  $a ЭПИТАКСИАЛЬНЫЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34137  $a ТОЛЩИНА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar14544  $a КОНТРОЛЬНО-ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЕ ПРИБОРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar55188  $a СПЕКТРОФОТОМЕТРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar54641  $a МЕТРОЛОГИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ СРЕДСТВ ИЗМЕРЕНИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2857769  $a ТОЧНОСТЬ ИЗМЕРЕНИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2910266  $a МЕТОДИКИ ВЫПОЛНЕНИЯ ИЗМЕРЕНИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar49873  $a АВТОМАТИЗИРОВАННАЯ ОБРАБОТКА ДАННЫХ  $2 DVNLB 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 681.785.423.08(043.3)  $v 4  $z rus 
686 # # $a 29.31.29  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 59.41.33  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 59.03.05  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 59.01.85  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 05.11.13  $2 nsnrsssr 
700 # 1 $3 BY-SEK-306840  $a Григорьев  $b В. К.  $g Владимир Калистратович  $c кандидат технических наук, физик 
712 0 2 $3 BY-NLB-ar85194  $a Институт прикладной физики  $c Минск  $4 995 
712 0 2 $3 BY-NLB-ar3274183  $a Государственный научно-исследовательский и проектный институт редкометаллической промышленности  $c Москва  $4 595 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 19930101  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060315  $g psbo 
856 4 # $u http://content.nlb.by/content/dav/nlb/DDC/AD/ba206704.pdf