Принципы автоматизации измерительного процесса в применении к измерению толщины эпитаксиального слоя в промышленности: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.11.13 Приборы и методы контроля веществ, материалов и изделий / Григорьев Владимир Калистратович
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Григорьев, В. К. |
| Опубликовано: | Минск , 1986 |
| Физические характеристики: |
18 с. : ил., табл.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: | |
| Е-документ: |
E-документ
|
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 3 , доступно: 2 | Доступно Заказать | ||||||||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||||||||||||