Моделирование технологии формирования легированных слоев при термическом отжиге полупроводниковых структур / А. Ф. Буренко, А. И. Кирковский, В. А. Цурко
Gespeichert in:
| Format: | |
|---|---|
| 1. Verfasser: | Буренков, А. Ф. |
| Veröffentlicht: | Минск : Институт математики , 1989 |
| Beschreibung: |
51, [1] с. : ил. ; 20 см
|
| Sprache: | Русский |
| Schriftenreihe: |
Препринт
№ 33 (383) |
| Schlagworte: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 2 , доступно: 2 | Verfügbar Bestellen | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||