Моделирование технологии формирования легированных слоев при термическом отжиге полупроводниковых структур / А. Ф. Буренко, А. И. Кирковский, В. А. Цурко
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Буренков, А. Ф. |
| Опубликовано: | Минск : Институт математики , 1989 |
| Физические характеристики: |
51, [1] с. : ил. ; 20 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Препринт
№ 33 (383) |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 2 , доступно: 2 | Доступно Заказать | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||