Моделирование технологии формирования легированных слоев при термическом отжиге полупроводниковых структур / А. Ф. Буренко, А. И. Кирковский, В. А. Цурко
Saved in:
| Format: | |
|---|---|
| Main Author: | Буренков, А. Ф. |
| Published: | Минск : Институт математики , 1989 |
| Physical Description: |
51, [1] с. : ил. ; 20 см
|
| Language: | Russian |
| Series: |
Препринт
№ 33 (383) |
| Subjects: |
ОФХ отдела книгохранения
| All : 2 , available: 2 | Available Place a Hold | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||