Использование пучков заряженных частиц для ядерного легирования кремния и разработка методов радиационного геттерирования полупроводниковых свч-приборов: Автореф.дис.на соиск.учен.степ.д-ра физ.-мат.наук:(01.04.07) / Киев.ун-т им.Т.Г.Шевченко
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Павленко, А. А. |
| Опубликовано: | Киев , 1993 |
| Физические характеристики: |
30 с.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: | |
| Е-документ: |
E-документ
|
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 0 | Недоступно (См. ссылку на электронный ресурс) | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||