Использование пучков заряженных частиц для ядерного легирования кремния и разработка методов радиационного геттерирования полупроводниковых свч-приборов: Автореф.дис.на соиск.учен.степ.д-ра физ.-мат.наук:(01.04.07) / Киев.ун-т им.Т.Г.Шевченко

Сохранено в:
Шифр документа: 2Ад1725,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Павленко, А. А.
Опубликовано: Киев , 1993
Физические характеристики: 30 с.
Язык: Русский
Предмет:
Е-документ: E-документ
00000cam0a22000004ia4500
001 BY-NLB-br153682
005 20240117135606.0
100 # # $a 19930101d1993 u y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
105 # # $a y km 001yy 
200 1 # $a Использование пучков заряженных частиц для ядерного легирования кремния и разработка методов радиационного геттерирования полупроводниковых свч-приборов  $e Автореф.дис.на соиск.учен.степ.д-ра физ.-мат.наук:(01.04.07)  $f Киев.ун-т им.Т.Г.Шевченко 
210 # # $a Киев  $d 1993 
215 # # $a 30 с. 
300 # # $a Библиогр.: с.28-30 (22 назв.) Для служеб.пользования.Экз. 
606 0 # $3 BY-NLB-ar82972  $a ЯДЕРНОЕ ЛЕГИРОВАНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar58309  $a ГЕТТЕРИРОВАНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2125682  $a СВЕРХВЫСОКОЧАСТОТНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar26709  $a ПУЧКИ ЧАСТИЦ  $2 DVNLB 
675 # # $a 537.311.322(043.3)  $v 3  $z rus 
686 # # $a 29.19.31  $2 rugasnti 
686 # # $a 01.04.07  $2 oksvnk 
700 # 1 $3 BY-SEK-421562  $a Павленко  $b А. А.  $g Анатолий Алексеевич 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 19930101  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060316  $g psbo 
856 4 # $u http://content.nlb.by/content/dav/nlb/DDC/AD/2Ad1725.pdf