Источники пучков ионов твердотельных веществ на основе вакуумно-дугового и пеннинговского разрядов для экстремальных режимов ионной имплантации: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук: специальность 01.04.04 Физическая электроника / Кулевой Тимур Вячеславович
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Кулевой, Т. В. |
| Опубликовано: | Томск , 2019 |
| Физические характеристики: |
35 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||