Источники пучков ионов твердотельных веществ на основе вакуумно-дугового и пеннинговского разрядов для экстремальных режимов ионной имплантации: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук: специальность 01.04.04 Физическая электроника / Кулевой Тимур Вячеславович

Zapisane w:
Шифр документа: 2//229558(039),
Format: Авторефераты диссертаций
1. autor: Кулевой, Т. В.
Wydane: Томск , 2019
Opis fizyczny: 35 с. : ил.
Język: Русский
Hasła przedmiotowe:
Подробнее

ОФХ отдела книгохранения

Всего : 1 , доступно: 1 Dostępne  Zamów

Информация об экземплярах

Шифр Фонд Место нахождения Статус экземпляра Читальный зал
2//229558(039) ОФХ отдела книгохранения (039) 11:4:3:94 СВОБОДЕН Рекомендованный ЧитЗал