
Источники пучков ионов твердотельных веществ на основе вакуумно-дугового и пеннинговского разрядов для экстремальных режимов ионной имплантации: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук: специальность 01.04.04 Физическая электроника / Кулевой Тимур Вячеславович
Zapisane w:
Format: | |
---|---|
1. autor: | Кулевой, Т. В. |
Wydane: | Томск , 2019 |
Opis fizyczny: |
35 с. : ил.
|
Język: | Русский |
Hasła przedmiotowe: |
ОФХ отдела книгохранения
Всего : 1 , доступно: 1 | Dostępne Zamów | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|