|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001575315 |
| 005 |
20191126201432.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20190903d2019 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Источники пучков ионов твердотельных веществ на основе вакуумно-дугового и пеннинговского разрядов для экстремальных режимов ионной имплантации
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук
$e специальность 01.04.04 Физическая электроника
$f Кулевой Тимур Вячеславович
$g [Институт теоретической и экспериментальной физики им. А. И. Алиханова Национального исследовательского центра "Курчатовский институт"]
|
| 210 |
# |
# |
$a Томск
$d 2019
|
| 215 |
# |
# |
$a 35 с.
$c ил.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 30—35 (30 назв.)
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar35913
$a ФИЗИЧЕСКАЯ ЭЛЕКТРОНИКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar12158
$a ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar12176
$a ИОННЫЕ ИСТОЧНИКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar12180
$a ИОННЫЕ ПУЧКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar1970214
$a ВАКУУМНО-ДУГОВОЙ РАЗРЯД
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar52648
$a ПЕННИНГА ЭФФЕКТ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar35407
$a УСКОРИТЕЛИ ЗАРЯЖЕННЫХ ЧАСТИЦ
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.35.39
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.27.43
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.27.23
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.31
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.33
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 01.04.04
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-564543
$a Кулевой
$b Т. В.
$g Тимур Вячеславович
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20190903
$g RCR
|
