Базовые технологические операции фотолитографии и оборудование для их реализации: учебно-методическое пособие для специальностей 1-41 01 02 "Микро- и наноэлектронные технологии и системы", 1-41 01 03 "Квантовые информационные системы" / Министерство образования Республики Беларусь, Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники", Факультет радиотехники и электроники, Кафедра микро- и наноэлектроники
Saved in:
| Format: | |
|---|---|
| Published: | Минск : БГУИР , 2017 |
| Physical Description: |
69, [2] с. : ил. ; 20 см
|
| Language: | Russian |
| Subjects: |
ОФХ отдела книгохранения
| All : 2 , available: 2 | Available Place a Hold | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||