Базовые технологические операции фотолитографии и оборудование для их реализации: учебно-методическое пособие для специальностей 1-41 01 02 "Микро- и наноэлектронные технологии и системы", 1-41 01 03 "Квантовые информационные системы" / Министерство образования Республики Беларусь, Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники", Факультет радиотехники и электроники, Кафедра микро- и наноэлектроники
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Опубликовано: | Минск : БГУИР , 2017 |
| Физические характеристики: |
69, [2] с. : ил. ; 20 см
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 2 , доступно: 2 | Доступно Заказать | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||