
Исследование элионных процессов и разработка оборудования для создания топологии микросхем: (05.12.19): Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. техн. наук / Леннигр электротехн. ин-т им. В. И. Ульянова (Ленина)
Gespeichert in:
Format: | |
---|---|
1. Verfasser: | Мамаев, Г. И. |
Veröffentlicht: | Л. , 1978 |
Beschreibung: |
18 с.
|
Sprache: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
Всего : 1 , доступно: 1 | Verfügbar Bestellen | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|