Исследование элионных процессов и разработка оборудования для создания топологии микросхем: (05.12.19): Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. техн. наук / Леннигр электротехн. ин-т им. В. И. Ульянова (Ленина)
Guardado en:
| Formato: | |
|---|---|
| Autor principal: | Мамаев, Г. И. |
| Publicado: | Л. , 1978 |
| Descripción Física: |
18 с.
|
| Lenguaje: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr15082420000 | ||
| 005 | 20070329170205.0 | ||
| 021 | # | # | $a RU $b [78-7282а] |
| 100 | # | # | $a 20070329d1978 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Исследование элионных процессов и разработка оборудования для создания топологии микросхем $e (05.12.19) $e Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. техн. наук $f Леннигр электротехн. ин-т им. В. И. Ульянова (Ленина) |
| 210 | # | # | $a Л. $d 1978 |
| 215 | # | # | $a 18 с. |
| 300 | # | # | $a Список работ авт.: с. 17-18 (9 назв.) |
| 686 | # | # | $a 05.12.19 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Мамаев $b Г. И. $g Геннадий Иванович |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070329 $g psbo |