Разработка импульсных фотонных процессов термообработки для создания биполярных микросхем: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук: специальность 05.27.01 Твердотельная электроника и микроэлектроника / Пилипенко Владимир Александрович
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Пилипенко, В. А. (род. 1949) |
| Опубликовано: | Минск , 1990 |
| Физические характеристики: |
33 с.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||