Создание прецизионных микроструктур в матрицах из анодного оксида алюминия для сенсоров потоков плазмы: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах / Андрухович Ирина Михайловна
Захавана ў:
Тып дакумента: | |
---|---|
Аўтар: | Андрухович, И. М. (род. 1989) |
Апублікавана: | Минск , 2019 |
Фізіч. характарыстыкі: |
21 с. : ил.
|
Мова: | Руская |
Прадмет: | |
Е-дакумент: |
E-дакумент
|
ОФХ отдела книгохранения
Усяго : 2 , даступна: 2 | Даступна Замовіць | |||||||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|