Создание прецизионных микроструктур в матрицах из анодного оксида алюминия для сенсоров потоков плазмы: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах / Андрухович Ирина Михайловна

Сохранено в:
Шифр документа: 2Н//225730(039), 2Н//225731(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Андрухович, И. М. (род. 1989)
Опубликовано: Минск , 2019
Физические характеристики: 21 с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
ПЛАЗМЕННЫЕ СТРУИ
СЕНСОРНЫЕ УСТРОЙСТВА
ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ
МИКРОСТРУКТУРЫ (физ.)
ОКСИД АЛЮМИНИЯ
АНОДНО-ОКСИДНЫЕ ПОКРЫТИЯ
ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКИЕ ТЕХНОЛОГИИ
ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА
ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ МАРШРУТЫ
Е-документ: E-документ
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0001530150
005 20220412161734.0
100 # # $a 20190212d2019 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus  $d eng  $d rus  $d bel 
102 # # $a BY 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Создание прецизионных микроструктур в матрицах из анодного оксида алюминия для сенсоров потоков плазмы  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук  $e специальность 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах  $f Андрухович Ирина Михайловна  $g Государственное научное учреждение "Институт физики им. Б. И. Степанова Национальной академии наук Беларуси" 
210 # # $a Минск  $d 2019 
215 # # $a 21 с.  $c ил. 
300 # # $a Резюме параллельно на белорусском, русском и английском языках 
311 # # $a В фонде НББ имеется диссертация 
320 # # $a Библиография: с. 15—18 (33 назв.) 
488 # 0 $1 001BY-NLB-br0001579195 
606 0 # $3 BY-NLB-ar66664  $a ПЛАЗМЕННЫЕ СТРУИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar29804  $a СЕНСОРНЫЕ УСТРОЙСТВА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2420611  $a ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18306  $a МИКРОСТРУКТУРЫ (физ.)  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar78052  $a ОКСИД АЛЮМИНИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar7185765  $a АНОДНО-ОКСИДНЫЕ ПОКРЫТИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar8566252  $a ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКИЕ ТЕХНОЛОГИИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33870  $a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33930  $a ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ МАРШРУТЫ  $2 DVNLB 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 621.382.049.77-027.3:621.357.6(043.3)  $v 4  $z rus 
686 # # $a 50.09.37  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.13.11  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 61.31.59  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 05.27.01  $2 nsnrrb 
700 # 1 $3 BY-SEK-ar13448002  $a Андрухович  $b И. М.  $g Ирина Михайловна  $c кандидат технических наук, электроника  $f род. 1989 
712 0 2 $3 BY-NLB-ar2380680  $a Институт физики имени Б. И. Степанова  $c Минск  $4 995 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20190212  $g RCR 
830 # # $a 14.03.2019 
856 4 # $u https://elib.nlb.by:8070/viewer?markID=BY-NLB-br0001530150&fileID=9297163 

Схожие документы