Создание прецизионных микроструктур в матрицах из анодного оксида алюминия для сенсоров потоков плазмы: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах / Андрухович Ирина Михайловна
Saved in:
| Format: | |
|---|---|
| Main Author: | Андрухович, И. М. (род. 1989) |
| Published: | Минск , 2019 |
| Physical Description: |
21 с. : ил.
|
| Language: | Russian |
| Subjects: | |
| E-document: |
E-document
|
ОФХ отдела книгохранения
| All : 2 , available: 2 | Available Place a Hold | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||