|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ib4500 |
| 001 |
BY-RLST-kn-799166 |
| 005 |
20230224084807.0 |
| 010 |
# |
# |
$a 978-5-9729-0337-5
$b в переплете
|
| 100 |
# |
# |
$a 20190823d2019 f y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a j 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ga
|
| 200 |
1 |
# |
$a Технологические процессы в микро- и наноэлектронике
$e учебное пособие
$f Ю. А. Родионов
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$a Вологда
$c Инфра-Инженерия
$d 2019
|
| 215 |
# |
# |
$a 350 с.
$c ил., цв. ил., табл.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 350 (5 назв.)
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18370
$a МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar45117
$a НАНОЭЛЕКТРОНИКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar7358508
$a ЭЛЕКТРОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33874
$a ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33914
$a ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ РЕЖИМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33890
$a ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ ОБОРУДОВАНИЕ
$2 DVNLB
|
| 608 |
# |
# |
$3 BY-NLB-ar2286649
$a УЧЕБНОЕ ПОСОБИЕ ДЛЯ ВУЗОВ
$2 BYGNR
|
| 615 |
# |
# |
$a Белорусский национальный документ
$x Экстериорика
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.77-027.3(075.8)
$v 4
$z rus
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.38-022.532-027.3(075.8)
$v 4
$z rus
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.11
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.07
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.01.33
$v 6
$2 rugasnti
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-119444
$a Родионов
$b Ю. А.
$g Юрий Анатольевич
$c кандидат технических наук, микроэлектроника
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0001
$c 20190823
$g RCR
|
