Технологические процессы в микро- и наноэлектронике: учебное пособие / Ю. А. Родионов
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Родионов, Ю. А. |
| Опубликовано: | Москва Вологда : Инфра-Инженерия , 2019 |
| Физические характеристики: |
350 с. : ил., цв. ил., табл.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ЦПФ (центральный подсобный фонд)
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Без заказа | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||