Электронная библиотека Национальной библиотеки Беларуси :: Национальная Библиотека РБ

Электрофизические процессы и оборудование в технологии микро- и наноэлектроники: монография / [А. П. Достанко и др.]

Enregistré dans:

Шифр документа:	1Н//324775(039), 1Н//324776(039), ##1Н//333459(055),
Format:	Книги
Publié:	Минск : Бестпринт , 2011
Description matérielle:	215 с. : ил., табл.
Langue:	Русский
Sujets:	НАНОЭЛЕКТРОНИКА НАНОТЕХНОЛОГИИ СУБМИКРОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ ВЫСОКОЭНЕРГЕТИЧЕСКИЕ ТЕХНОЛОГИИ ИОННО-ПЛАЗМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ МАГНЕТРОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ ПЛАЗМЕННОЕ ТРАВЛЕНИЕ МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ ХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ ПРЕЦИЗИОННАЯ ОБРАБОТКА МИКРОСВАРКА ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ УСТАНОВКИ МИКРОЭЛЕКТРОННЫЕ УСТРОЙСТВА ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА

ОФХ отдела книгохранения

Всего : 2 , доступно: 2

Disponible Réserver

Информация об экземплярах

Шифр	Фонд	Место нахождения	Статус экземпляра	Читальный зал
1Н//324775(039)	ОФХ отдела книгохранения (039)	15:1:5:45	СВОБОДЕН	Рекомендованный ЧитЗал
1Н//324776(039)	ОФХ отдела книгохранения (039)	15:1:5:45	СВОБОДЕН	Рекомендованный ЧитЗал