| Другие авторы/ответственные: |
Достанко, А. П. (род. 1937) , Бордусов, С. В. (род. 1955) , Ланин, В. Л. (род. 1948) , Русецкий, А. М. (род. 1951) , Ануфриев, Л. П. (род. 1945) , Карпович, С. Е. (род. 1949) , Жарский, В. В. , Плебанович, В. И. , Адамович, А. Л. (род. 1978) , Грозберг, Ю. Г. (род. 1957) , Голосов, Д. А. (род. 1971) , Завадский, С. М. , Соловьев, Я. А. , Дайняк, И. В. , Ковальчук, Н. С. , Петухов, И. Б. , Телеш, Е. В. , Мадвейко, С. И. (род. 1984) |
| ISBN: |
978-985-6873-38-9
|
| Другие заглавия: |
Electrophicical processes and systems in micro- and nanoelectronics technology
|
| Примечания: |
Библиография в конце глав
100 экз.
|
