|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ib4500 |
| 001 |
BY-RLST-kn-287768 |
| 005 |
20220412153008.0 |
| 010 |
# |
# |
$a 978-985-6873-38-9
|
| 100 |
# |
# |
$a 20111220d2011 k y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a BY
|
| 105 |
# |
# |
$a a z 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Электрофизические процессы и оборудование в технологии микро- и наноэлектроники
$d Electrophicical processes and systems in micro- and nanoelectronics technology
$e монография
$f [А. П. Достанко и др.]
$g под редакцией А. П. Достанко, А. М. Русецкого
$z eng
|
| 210 |
# |
# |
$a Минск
$c Бестпринт
$d 2011
|
| 215 |
# |
# |
$a 215 с.
$c ил., табл.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография в конце глав
|
| 345 |
# |
# |
$9 100 экз.
|
| 510 |
1 |
# |
$a Electrophicical processes and systems in micro- and nanoelectronics technology
$z eng
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar45117
$a НАНОЭЛЕКТРОНИКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar67566
$a НАНОТЕХНОЛОГИИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar1611433
$a СУБМИКРОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2048905
$a ВЫСОКОЭНЕРГЕТИЧЕСКИЕ ТЕХНОЛОГИИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar12168
$a ИОННО-ПЛАЗМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2643528
$a МАГНЕТРОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar12158
$a ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar3128229
$a ПЛАЗМЕННОЕ ТРАВЛЕНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar4777100
$a МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar1607655
$a ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2493283
$a ХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar55319
$a ПРЕЦИЗИОННАЯ ОБРАБОТКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar1620584
$a МИКРОСВАРКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar39290
$a ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar4141564
$a ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar39288
$a ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ УСТАНОВКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18376
$a МИКРОЭЛЕКТРОННЫЕ УСТРОЙСТВА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33870
$a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА
$2 DVNLB
|
| 615 |
# |
# |
$a Белорусский национальный документ
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.77-027.3:621.7/.9.048
$v 4
$z rus
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.77-027.3:621.793/.795
$v 4
$z rus
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.38-022.532
$v 4
$z rus
|
| 675 |
# |
# |
$a 620.3
$v 4
$z rus
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.31
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.33
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.07
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.11
$v 6
$2 rugasnti
|
| 701 |
# |
1 |
$3 BY-NLB-ar2495390
$a Достанко
$b А. П.
$g Анатолий Павлович
$c доктор технических наук
$f род. 1937
$4 340
|
| 701 |
# |
1 |
$3 BY-NLB-ar2634921
$a Бордусов
$b С. В.
$g Сергей Валентинович
$c доктор технических наук
$f род. 1955
|
| 701 |
# |
1 |
$3 BY-NLB-ar2637712
$a Ланин
$b В. Л.
$g Владимир Леонидович
$c доктор технических наук, электроника
$f род. 1948
|
| 701 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-318973
$a Русецкий
$b А. М.
$g Анатолий Максимович
$c доктор технических наук
$f род. 1951
$4 340
|
| 701 |
# |
1 |
$3 BY-NLB-ar2495368
$a Ануфриев
$b Л. П.
$g Леонид Петрович
$c доктор технических наук
$f род. 1945
|
| 701 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-289572
$a Карпович
$b С. Е.
$g Святослав Евгеньевич
$c доктор технических наук
$f 1949—2023
|
| 701 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-448131
$a Жарский
$b В. В.
$g Владимир Владимирович
$c доктор технических наук
|
| 701 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-677117
$a Плебанович
$b В. И.
$g Владимир Иванович
|
| 701 |
# |
1 |
$3 BY-NLB-ar2637545
$a Адамович
$b А. Л.
$g Александр Леонидович
$c кандидат технических наук, энергетика
$f род. 1978
|
| 701 |
# |
1 |
$3 BY-NLB-ar2637560
$a Грозберг
$b Ю. Г.
$g Юрий Геннадьевич
$c кандидат технических наук
$f род. 1957
|
| 701 |
# |
1 |
$3 BY-NLB-ar2637559
$a Голосов
$b Д. А.
$g Дмитрий Анатольевич
$c кандидат технических наук
$f род. 1971
|
| 701 |
# |
1 |
$3 BY-NLB-ar2637692
$a Завадский
$b С. М.
$g Сергей Михайлович
$c кандидат технических наук
|
| 701 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-661970
$a Соловьев
$b Я. А.
$g Ярослав Александрович
$c кандидат технических наук
|
| 701 |
# |
1 |
$3 BY-NLB-ar2648592
$a Дайняк
$b И. В.
$g Игорь Викторович
$c кандидат технических наук, электроника
|
| 701 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-ar5231082
$a Ковальчук
$b Н. С.
$g Наталья Станиславовна
$c кандидат технических наук
|
| 701 |
# |
1 |
$3 BY-NLB-ar1998334
$a Петухов
$b И. Б.
$g Игорь Борисович
$c кандидат технических наук
|
| 701 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-375809
$a Телеш
$b Е. В.
$g Евгений Владимирович
|
| 701 |
# |
1 |
$3 BY-NLB-br4883719
$a Мадвейко
$b С. И.
$g Сергей Игоревич
$c кандидат технических наук
$f род. 1984
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0001
$c 20111220
$g psbo
|
| 801 |
# |
2 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20170927
$g RCR
|
