|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ib4500 |
| 001 |
BY-RLST-kn-226016 |
| 005 |
20170927103930.2 |
| 010 |
# |
# |
$a 978-985-488-499-8
|
| 100 |
# |
# |
$a 20101116d2010 f y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a BY
|
| 105 |
# |
# |
$a a j 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ga
|
| 200 |
1 |
# |
$a Методы контроля и анализа в технологии изготовления интегральных микросхем
$e учебно-методическое пособие для студентов учреждений, обеспечивающих получение высшего образования по специальностям "Микро- и наноэлектронные технологии и системы" и "Квантовые информационные системы"
$f Д. А. Котов, А. Г. Черных
$g Министерство образования Республики Беларусь, Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники"
|
| 210 |
# |
# |
$a Минск
$c БГУИР
$d 2010
|
| 215 |
# |
# |
$a 46, [1] с.
$c ил.
$d 20 см
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография в конце книги (10 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 100 экз.
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18370
$a МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar11906
$a ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33870
$a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar65279
$a КОНТРОЛЬ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar3334070
$a КОНТРОЛЯ МЕТОДЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar39296
$a ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ МЕТОДЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar21841
$a ОПТИЧЕСКИЕ МЕТОДЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar39328
$a ЭЛЕМЕНТНЫЙ АНАЛИЗ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar55517
$a ИССЛЕДОВАНИЙ МЕТОДЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar21827
$a ОПТИЧЕСКАЯ МИКРОСКОПИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar39126
$a ЭЛЕКТРОННАЯ МИКРОСКОПИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar39094
$a ЭЛЕКТРОННАЯ СПЕКТРОСКОПИЯ
$2 DVNLB
|
| 615 |
# |
# |
$a Белорусский национальный документ
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.77-027.3:658.562.3(075.8)
$v 4
$z rus
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.77-027.3:620.187(075.8)
$v 4
$z rus
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.33.31
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.81
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.01.33
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 81.81.21
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.31.26
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.35.43
$v 6
$2 rugasnti
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-379461
$a Котов
$b Д. А.
$g Дмитрий Анатольевич
$c кандидат технических наук
|
| 701 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-190918
$a Черных
$b А. Г.
$g Александр Георгиевич
$c кандидат технических наук
$f род. 1941
|
| 712 |
0 |
2 |
$3 BY-NLB-ar186905
$a Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
$c Минск
$4 475
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0001
$c 20101116
$g psbo
|
| 801 |
# |
2 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20170927
$g psbo
|
