Методы контроля и анализа в технологии изготовления интегральных микросхем: учебно-методическое пособие для студентов учреждений, обеспечивающих получение высшего образования по специальностям "Микро- и наноэлектронные технологии и системы" и "Квантовые информационные системы" / Д. А. Котов, А. Г. Черных
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Котов, Д. А. |
Опубликовано: | Минск : БГУИР , 2010 |
Физические характеристики: |
46, [1] с. : ил. ; 20 см
|
Язык: | Русский |
Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
Всего : 2 , доступно: 2 | Доступно Заказать | |||||||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|