|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ib4500 |
| 001 |
BY-RLST-kn-224850 |
| 005 |
20220412154823.0 |
| 010 |
# |
# |
$a 978-985-6963-05-9
|
| 100 |
# |
# |
$a 20101109d2009 k y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a BY
|
| 105 |
# |
# |
$a a z 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Технологические процессы и системы в микроэлектронике: плазменные, электронно-ионно-лучевые, ультразвуковые
$d Technological processes and systems in microelectronics: plasma, elektron-ion-beam, ultrasonic
$f [А. П. Достанко и др.]
$g под редакцией А. П. Достанко
$g Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
$z eng
|
| 210 |
# |
# |
$a Минск
$c Бестпринт
$d 2009
|
| 215 |
# |
# |
$a 198 с.
$c ил., табл.
$d 20 см
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография в конце глав
|
| 345 |
# |
# |
$9 100 экз.
|
| 510 |
1 |
# |
$a Technological processes and systems in microelectronics: plasma, elektron-ion-beam, ultrasonic
$z eng
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar12168
$a ИОННО-ПЛАЗМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar12174
$a ИОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar34171
$a ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar34165
$a ТОНКИЕ ПОКРЫТИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar23657
$a ПЛАЗМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar1607655
$a ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2733065
$a УЛЬТРАЗВУКОВЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar35179
$a УЛЬТРАЗВУКОВАЯ СВАРКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar1620584
$a МИКРОСВАРКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33890
$a ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ ОБОРУДОВАНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33922
$a ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar4777100
$a МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18376
$a МИКРОЭЛЕКТРОННЫЕ УСТРОЙСТВА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33870
$a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА
$2 DVNLB
|
| 615 |
# |
# |
$a Белорусский национальный документ
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.77-027.3:621.7/.9.048.6/.7
$v 4
$z rus
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.77-027.3:621.793.74
$v 4
$z rus
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.11
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.33
$v 6
$2 rugasnti
|
| 701 |
# |
1 |
$3 BY-NLB-ar2495390
$a Достанко
$b А. П.
$g Анатолий Павлович
$c доктор технических наук
$f род. 1937
$4 340
|
| 701 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-346366
$a Залесский
$b В. Г.
$g Виталий Геннадьевич
$c доктор физико-математических наук
$f род. 1971
|
| 701 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-318973
$a Русецкий
$b А. М.
$g Анатолий Максимович
$c доктор технических наук
$f род. 1951
|
| 701 |
# |
1 |
$3 BY-NLB-ar2637712
$a Ланин
$b В. Л.
$g Владимир Леонидович
$c доктор технических наук, электроника
$f род. 1948
|
| 701 |
# |
1 |
$3 BY-NLB-ar1998334
$a Петухов
$b И. Б.
$g Игорь Борисович
$c кандидат технических наук
|
| 701 |
# |
1 |
$3 BY-NLB-ar2637559
$a Голосов
$b Д. А.
$g Дмитрий Анатольевич
$c кандидат технических наук
$f род. 1971
|
| 701 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-375809
$a Телеш
$b Е. В.
$g Евгений Владимирович
|
| 701 |
# |
1 |
$3 BY-NLB-ar2634921
$a Бордусов
$b С. В.
$g Сергей Валентинович
$c доктор технических наук
$f род. 1955
|
| 701 |
# |
1 |
$3 BY-NLB-ar2637692
$a Завадский
$b С. М.
$g Сергей Михайлович
$c кандидат технических наук
|
| 712 |
0 |
2 |
$3 BY-NLB-ar186905
$a Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
$c Минск
$4 570
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0001
$c 20101109
$g psbo
|
| 801 |
# |
2 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20170926
$g RCR
|
