Технологические процессы и системы в микроэлектронике: плазменные, электронно-ионно-лучевые, ультразвуковые / [А. П. Достанко и др.]
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Опубликовано: | Минск : Бестпринт , 2009 |
| Физические характеристики: |
198 с. : ил., табл. ; 20 см
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 2 , доступно: 2 | Доступно Заказать | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||